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引言集成电路已成为现代电子设备的基石调研产业发展分析技术现状，有助于把握趋势集成电路技术概述定义指将大量电子元件（如晶体管、电阻、电容等）集成在一块微小的半导体材料上的电子技术诞生1958年，TI公司的Jack Kilby发明了集成电路发展阶段从SSI（小规模集成）到MSI（中规模集成）再到LSI（大规模集成）和VLSI（超大规模集成）集成电路技术发展现状以摩尔定律为指导的快速发展目前已经进入了5纳米制程技术节点关键指标变化情况制程技术从7纳米到5纳米甚至更小，制程技术的进步直接提高了芯片的性能，同时降低了功耗但是制程技术已经越来越接近物理极限，未来可能需要探索新的技术路径集成度单位面积内集成的电子元件数量从LSI到VLSI，再到7纳米和5纳米制程技术，集成度不断提高高集成度可以带来更高的性能和更低的功耗能效比在保证性能的同时降低功耗已成为发展的重点通过制程技术的进步和集成度的提高能效比得到了显著提升可靠性制程技术的突破并未伴随着可靠性的显著提升针对特定应用场景的优化设计变得越来越重要技术发展对产业的影响促进了新兴行业的发展