介绍什么是微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS），并收集整理相关资料介绍相关背景和概念，收集整理MEMS及NEMS的6个应用实例。[PPT成品+免费文案]

微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）是建立在微米和纳米尺度上的新型电子设备，其包括各种不同种类的传感器、执行器、发电机和微/纳尺度上的机构等。这些系统通常利用半导体工艺进行批量生产，因此，可以同时实现批量生产和集成化。PPT 超级市场

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）即微电子机械系统，主要通过将机械结构和电子电路在微米或毫米尺度上进行集成，实现特定的功能。其基本构成主要包括三部分：微型结构、电子设备和微型封装。微型结构是MEMS的核心，其尺寸通常在1~1000μm之间，可以由各种材料构成，如硅、玻璃、金属、塑料等。电子设备通常包括微型传感器、执行器和微电路等，这些设备可以控制或感知微型结构的动作。微型封装是指将微型结构与电子设备封装在一个微型封装内，以实现特定的功能。pptsupermarket.com

NEMS（Nano-Electro-Mechanical Systems）即纳电子机械系统，是一个在纳米尺度上集成了电子设备和机械结构的系统。其基本构成与MEMS类似，主要包括微型结构、电子设备和微型封装，但其尺寸要小得多。微型结构的尺寸通常在1~100nm之间，电子设备的尺寸通常在1~1000nm之间，微型封装则将微型结构和电子设备封装在一个微型封装内。😀PPT超级市场服务