真空镀膜技术是一种在高真空环境下,通过加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的方法。这种技术以真空技术为基础,利用物理或化学方法,结合电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的新工艺。
真空镀膜技术的分类
真空镀膜技术一般分为两大类,即物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术。pptsupermarket
物理气相沉积(PVD)技术
物理气相沉积技术是指在真空条件下,利用各种物理方法,将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子,直接沉积到基体表面上的方法。这种技术通常用于制备硬质反应膜,利用物质的热蒸发或离子轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。物理气相沉积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射范围宽、可沉积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点。
化学气相沉积(CVD)技术
化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法。这种技术主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。 PPT超级市场
真空镀膜技术的特点
真空镀膜技术与传统的湿式镀膜技术相比,具有以下优点:pptsupermarket
真空镀膜技术的应用领域
真空镀膜技术广泛应用于各个领域,包括:PPT 超级市场
真空镀膜技术的工艺流程
真空镀膜技术的工艺流程主要包括以下步骤:
总之,真空镀膜技术是一种先进的薄膜制备技术,具有广泛的应用前景和重要的工业价值。随着科学技术的不断发展,真空镀膜技术将在更多领域得到应用和推广。 PPT超级市场